클린룸이나 가스 측정시험 관련하여, PN Counter라는 장비를 들어보신 적이 있을 겁니다.
PN Counter란 무엇이고 어떤 원리로 작동하는지, 사양 선정은 어떻게 하는지를 알아보도록 하겠습니다.
1. PN Counter(=Particle Counter)란?
PN Counter(=Particle Counter)란 우리 말로 파티클카운터 혹은 미립자 계측기라고도 합니다.
공기나 액체 속에 있는 먼지나 불순물 등의 미립자 개수를 측정하는 장비이며 주로 청정도 관리가 필요한 클린룸이나, 엔진의 배기가스 분석 등에 사용합니다.
2. PN Counter의 원리
PN Counter 내부에 기체나 액체가 지나가고, 해당부에 레이저광을 비춥니다.
이 때 입자에 레이저광이 닿으면 산란광이 발생하고, 이 산란광을 수광소자로 감지하여 전압신호로 받습니다.
입자의 크기가 클수록 산란광이 크고, 입자가 많을수록 측정 시간동안의 산란광 발생 수가 많겠죠.
이런 산란광의 크기와 발생 정도를 통해 입자의 크기와 수량을 측정할 수 있습니다.
3. PN Counter의 사양 선정방법
PN Counter는 시료의 유량과 계측 가능한 입자의 크기에 따라 사양이 구성됩니다.
따라서, 검출하고자 하는 시료의 유량과 입자 크기를 기준으로 사양을 선정해주시면 되겠습니다.
아래는 TSI사의 PN Counter 사양 예시이니, 선정 시 참고하시기 바랍니다.
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